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洁净室无尘室净化工程验收要点和规范

洁净室无尘室净化工程验收要点和规范

时间:2023-7-2 编辑:传递窗工程师

洁净室无尘室净化工程验收要点和规范

『洁净室』又称为「无尘室」,是将一定空间范围内之空气的微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除于外,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在一定需求范围内,而给予特别设计之房间。也就是说这个受控的房间内之微尘粒子相当稀少。

洁净室无尘室净化工程在作为无尘净化车间的一种,主要应用于对空气杂质要求较高的行业,因为车间的洁净度会影响这些行业的产品质量,所以必须要建造洁净车间,作为生产场地。特别是电子制造行业,芯片、半导体等,都要求在洁净车间下生产,我们在建成后,必须要进行验收合格后才能投入使用,那么洁净车间标准是怎样的呢,如何验收的呢?

洁净室无尘室净化工程验收要点和规范

一、净化工程洁净度的验收标准

在洁净车间净化工程验收项目中,洁净度的验收是必不可少的,需要专业的仪器对洁净车间的洁净度进行测量合格后,方可视为洁净度验收合格,要根据有关规范和现场实际情况,制定验收方案,一般可做以下操作:

1、在检测前,我们要保证洁净车间是完全封闭的状态,保证净化空调系统已连续运行至少24小时,保证洁净车间内的洁净情况。

2、在洁净度检测时,需在静态情况下进行检测,测试人员必须穿戴好洁净服装,避免产生人员污染情况。

3、可采用激光尘埃粒子计数仪作为检测仪器,具体型号可根据现场情况进行选定。

4、测定点数的确定,根据国家有关标准,最少采样点数为,NL=A0.5,其中A为无尘室面积(㎡),根据计算最少采样点为NL=38,本次验收设计采样点为87个,具体采样点详见洁净度检测点平面图。

5、洁净车间净化工程每个测定点每次采样时间为1分钟,每个点测试3次,取平均值。平均含尘浓度符合洁净度万级标准为合格。

二、洁净车间净化工程噪声的检测标准

在洁净车间净化工程验收时,除了洁净度需要进行检测验收外,还需要对室内噪音进行检测,因为根据洁净车间的标准来看,其室内噪音要保障在45分贝以下才算合格,因此需要对室内噪音进行验收,其洁净车间噪音验收标准如下:

1、测噪声仪器为数字式声级计,一般只测A声级。

2、测量位置距地面1.5米高,测试点位详见噪声检测点平面图。

3、各点≤65dB(A)为合格。

三、洁净车间净化工程温湿度的检测

我们在温湿度验收时,会有一系列的洁净车间净化工程验收标准,在温湿度检测验收时,净化空调同样需要连续运行至少24小时,因此,在温湿度检测时,通常会与洁净度验收相应进行。温湿度要求,需要根据温湿度波动范围来进行判断,除此之后我们还需要注意以下几点:

1、测定前净化工程空调系统应连续运行至少24小时。

2、对恒温恒湿要求,根据温湿度波动范围的要求,测定宜连续进行8~48小时,每次测定间隔时间不大于30分钟。

3、测试点距地面1~1.5m,交错布置,距外墙表面应大于0.5米。

4、测点数,根据有关规范,面积≤50㎡,测点数为5个,每增加20~50㎡,增加3~5个点。本次验收设计采样点为130个。

5、测试仪器为温湿度仪或棒状酒精温度计。

6、90%以上的测点达到的偏差值在设计参数内,则检验为合格。

四、室内照度验收标准

1.检测用照度仪(TES1330A) 测定。

2.测点平面离地面0.8~1.0m,按2m间距布置,测点距离墙面应不小于1.0m。测试点位详见照度检测点平面图。

3.净化车间内90%以上的测点值在设计值内,则检验为合格。

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